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吸着板(幅350×長さ350mm) 705E
 
型式 IMC-705E型
外形寸法 W350×D350×H25mm
質量 約8.5kgf
吸着面精度 平面度:±20μm 平行度:±20μm
吸着穴径 φ1.5mm(計1156箇所)
吸着穴ピッチ 10mm
吸引ポート Rc1/4 10ヶ所(側面)
使用温度範囲 RT~Max40℃
使用湿度範囲 65%RF以下
付属品 取扱説明書
※仕様および外観は、性能向上その他により予告なく変更することがあります。あらかじめご了承ください。