吸着板(幅350×長さ350mm) 705E
型式 | IMC-705E型 |
外形寸法 | W350×D350×H25mm |
質量 | 約8.5kgf |
吸着面精度 | 平面度:±20μm 平行度:±20μm |
吸着穴径 | φ1.5mm(計1156箇所) |
吸着穴ピッチ | 10mm |
吸引ポート | Rc1/4 10ヶ所(側面) |
使用温度範囲 | RT~Max40℃ |
使用湿度範囲 | 65%RF以下 |
付属品 | 取扱説明書 |
※仕様および外観は、性能向上その他により予告なく変更することがあります。あらかじめご了承ください。