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コントロールコーター(塗工機) 7009
シリコンウエハー仕様

本製品は生産終了となりました

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本機は、シリコンウエハーを塗布するために開発された装置です。
型式 IMC-7009型
外形寸法 L666×W514×H370mm
入力電源 単相100V
消費電流 最大2A
塗工台 300×450mm 4・6インチウエハ台、ステンレスバット付き
塗工速度 約10~100mm/sec
表示器 パイロットランプ、真空圧力計
操作系 主電源スイッチ、塗工方向切換スイッチ、
ウエハ上昇/下降/吸着セレクトスイッチ、
塗工速度調整ツマミ、真空ラインニードルバルブ
安全装置 過電流遮断器
付属品 取扱説明書
※仕様および外観は、性能向上その他により予告なく変更することがあります。あらかじめご了承ください。