コントロールコーター(塗工機) 7009
シリコンウエハー仕様
シリコンウエハー仕様
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本機は、シリコンウエハーを塗布するために開発された装置です。
型式 | IMC-7009型 |
外形寸法 | L666×W514×H370mm |
入力電源 | 単相100V |
消費電流 | 最大2A |
塗工台 | 300×450mm 4・6インチウエハ台、ステンレスバット付き |
塗工速度 | 約10~100mm/sec |
表示器 | パイロットランプ、真空圧力計 |
操作系 | 主電源スイッチ、塗工方向切換スイッチ、 ウエハ上昇/下降/吸着セレクトスイッチ、 塗工速度調整ツマミ、真空ラインニードルバルブ |
安全装置 | 過電流遮断器 |
付属品 | 取扱説明書 |
※仕様および外観は、性能向上その他により予告なく変更することがあります。あらかじめご了承ください。