塗工板・吸着板・加熱板
| 型式 | 名称 | 仕様 | サイズ |
|---|---|---|---|
| 精密塗工板 | 平坦度3μm | ||
| 705F | 塗工台 | ||
| 吸着加熱板 | 300×450mm | ||
| 3301 | 吸着板 | 標準 | 300×450mm (吸着範囲：240×390mm) |
| 706D | 吸着板 | 300×450mm （吸着範囲：240×390mm） |
|
| 705E | 吸着板 | 350×350mm | |
| 706B | 吸着板 | 360×450mm （吸着範囲：300×390mm） |
|
| 706E | 吸着板 | 400×500mm （吸着範囲：350×421.5mm） |
|
| 705D | 吸着板 | 400×650mm （吸着範囲：320×520mm） |
|
| 706C | 吸着板 | 特殊仕様 | 300×450mm （吸着範囲：187×309mm） |
| 60C9 | 加熱板 | 標準 | 300×450mm |
| 1A8F | 真空発生装置 | ||
