ウェハフィルム貼付装置 1340
本機は、高精度なダイシングを行うために、フィルムに常にテンションを掛け、ウェハとフィルム間に気泡を入れることなく完璧なマウントが行える装置です。
最大8インチフレームまで対応。
脱気用ローラー付です。
最大8インチフレームまで対応。
脱気用ローラー付です。
型式 | IMC-1340型 |
外形寸法 | W450×D874×H335mm |
質量 | 約80kg |
入力電源 | 単相100V |
消費電流 | 最大5A |
テーブル温度 | Max40℃ |
テープサイズ | 幅300mm×50m |
表示器 | 主電源表示灯、圧力計 |
操作系 | 主電源スイッチ、温度調節器、吸引切換スイッチ、 高さ調節ツマミ、真空レギュレータ |
安全装置 | 過電流遮断器 |
付属品 | 取扱説明書 |
※仕様および外観は、性能向上その他により予告なく変更することがあります。あらかじめご了承ください。