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ウェハフィルム貼付装置 1340
 
本機は、高精度なダイシングを行うために、フィルムに常にテンションを掛け、ウェハとフィルム間に気泡を入れることなく完璧なマウントが行える装置です。
最大8インチフレームまで対応。
脱気用ローラー付です。
型式 IMC-1340型
外形寸法 W450×D874×H335mm
質量 約80kg
入力電源 単相100V
消費電流 最大5A
テーブル温度 Max40℃
テープサイズ 幅300mm×50m
表示器 主電源表示灯、圧力計
操作系 主電源スイッチ、温度調節器、吸引切換スイッチ、
高さ調節ツマミ、真空レギュレータ
安全装置 過電流遮断器
付属品 取扱説明書
※仕様および外観は、性能向上その他により予告なく変更することがあります。あらかじめご了承ください。