IMC-1340 ウェハフィルム貼付装置
仕様
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型式
IMC-1340 -
外形寸法
W450 × D874 × H335 mm -
質量
約 80 kg -
電源
100 V 5 A -
テーブル温度
最大 40 ℃ -
テープサイズ
幅 300 mm × 50 m -
表示器
主電源表示灯、圧力計 -
操作系
主電源スイッチ、温度調整器、吸引切替スイッチ、高さ調整ツマミ、真空レギュレータ -
安全装置
過電流遮断器 -
※ 製品の改良に伴い、予告なく仕様や外観が変更されることがあります。