仕様

• 型式

  IMC-7009

• 外形寸法

  W514 × D666 × H370 mm

• 電源

  AC 100 V　2 A

• 塗工台

  300 × 450 mm
  4.6インチウェハ台、ステンレスバット付

• 塗工速度

  約 10～100 mm/sec

• 表示器

  パイロットランプ、真空圧力計

• 操作系

  主電源スイッチ、塗工方向切換スイッチ、ウェハ上昇/下降/吸着セレクトスイッチ、塗工速度調整ツマミ、真空ラインニードルバルブ

• 安全装置

  過電流遮断器

• ※ 製品の改良に伴い、予告なく仕様や外観が変更されることがあります。