IMC-1908 高精度ウエハ拡張装置
仕様
-
型式
IMC-1908 -
外形寸法
本体:W1560 × D1560 × H56 mm
制御盤:W900 × D700 × H1910 mm -
質量
約 1500 kg -
電源
単相 200 V 60 A -
延伸寸法
□240 mm → □350 mm
(フィルム把持部内寸法) -
延伸把持チャック数
1辺9チャック
(計36チャック) -
延伸方式
センターストレッチ -
延伸速度範囲
最大 120 mm/min
最小 0.1 mm/min -
温度調節範囲
80 ℃ -
使用エア圧力
0.5 MPa -
ヒータ容量
計 4 kW -
表示器
主電源表示灯
アラーム表示灯
ユーティリティー
蓋閉
延伸 -
操作系
主電源スイッチ
タッチパネル
蓋開閉スイッチ
非常停止ボタン -
安全装置
過電流遮断機
非常停止ボタン(本体、制御盤に各1個) -
※ 製品の改良に伴い、予告なく仕様や外観が変更されることがあります。