IMC-1908 高精度ウエハ拡張装置

ウエハを拡張

高精度ウエハ拡張装置

製作事例

こちらの製品は、これまでに弊社で製作した実績の一例として掲載しています。
ご質問やご不明点、ご要望がございましたら、どうぞご遠慮なくお問い合わせください。

二軸同時ストレッチが可能

本機はセンターストレッチ方式(1辺9チャック)を採用したウエハの拡張装置です。
延伸前□240mmから、最大□350mmまでの延伸が可能です(いずれもチャック内角寸法)。

仕様

  • 型式
  • 外形寸法
  • 質量
  • 電源
  • 延伸寸法
  • 延伸把持チャック数
  • 延伸方式
  • 延伸速度範囲
  • 温度調節範囲
  • 使用エア圧力
  • ヒータ容量
  • 表示器
  • 操作系
  • 安全装置

材料

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