製作事例
こちらの製品は、これまでに弊社で製作した実績の一例として掲載しています。
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シリコンウェハを塗布
本機は、シリコンウェハを塗布するために開発された装置です。
仕様
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型式
IMC-7009 -
外形寸法
W514 × D666 × H370 mm -
電源
AC 100 V 2 A -
塗工台
300 × 450 mm
4.6インチウェハ台、ステンレスバット付 -
塗工速度
約 10～100 mm/sec -
表示器
パイロットランプ、真空圧力計 -
操作系
主電源スイッチ、塗工方向切換スイッチ、ウェハ上昇/下降/吸着セレクトスイッチ、塗工速度調整ツマミ、真空ラインニードルバルブ -
安全装置
過電流遮断器 -
※ 製品の改良に伴い、予告なく仕様や外観が変更されることがあります。
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